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              Plessey訂購愛思強MOCVD反應器,助力MicroLED生產(chǎn)

              2018/9/20 13:43:24 作者: 來源:LEDinside
              摘要:昨(19)日,普萊思半導體(Plessey)發(fā)布新聞稿宣布,公司已購買愛思強(AIXTRON )的AIX G5+ C有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)反應器。此前,公司已向愛思強訂購了一個反應器。

                昨(19)日,普萊思半導體(Plessey)發(fā)布新聞稿宣布,公司已購買愛思強(AIXTRON )的AIX G5+ C有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)反應器。此前,公司已向愛思強訂購了一個反應器。

                普萊思致力于采用硅基氮化鎵外延片生產(chǎn)下一代Micro LED應用,而愛思強的MOCVD反應器將增強其硅基氮化鎵外延片的制造能力。公司擬在2019年第一季度期間將此反應器安裝在其位于英國普利茅斯(Plymouth)的制造工廠(27萬平方公尺)并投入使用。

                新的愛思強反應器提供自動卡匣式(C2C)晶圓傳輸模塊晶片傳送模塊,具備兩個獨立的腔體配置選項,可實現(xiàn)8x6英寸或5x8英寸硅基氮化鎵外延片在封閉的卡匣環(huán)境中的自動加載與移除。而普萊思現(xiàn)有的愛思強MOCVD反應器則可人工加載7x6英寸或3x8英寸外延片。

                新反應器的自動化清潔技術(shù)能夠確保設備在每次運行時都處于清潔狀態(tài),有助于降低晶圓缺陷率并大幅減少維修停工時間。此外,新設備還具有更快的傾斜升溫與冷卻以及高的基座卸載溫度,從而縮短配方時間。

                普萊思表示,AIX G5+ C反應器能夠增強基于公司專有硅基氮化鎵技術(shù)的單片Micro LED的研發(fā)能力。公司的Micro LED具備極低功耗、高亮度與超高像素密度等特點,將對使用LCD和OLED等傳統(tǒng)技術(shù)的現(xiàn)有應用領(lǐng)域帶來潛在的沖擊。

                普萊思旨在成為開發(fā)創(chuàng)新顯示引擎和全磁場自發(fā)光Micro LED顯示器的全球領(lǐng)導照明商。該設備結(jié)合了超高密度RGB像素陣列與高性能互補金屬氧化物半導體(CMOS)背板,具有高亮度、低功耗及高幀頻圖像源等特點,可用于AR/VR系統(tǒng)的頭戴式顯示器和穿戴式電子設備。


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