中微半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)研發(fā)基地開(kāi)工，年產(chǎn)200腔體MOCVD設(shè)備

8月5日上午，南昌高新區(qū)舉行2020年重大重點(diǎn)項(xiàng)目集中開(kāi)工儀式，以中微半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)研發(fā)基地為代表的27個(gè)項(xiàng)目集中開(kāi)工。

南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司于2017年12月成立，是中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司全資子公司。該項(xiàng)目于2018年3月實(shí)現(xiàn)南昌制造，5月實(shí)現(xiàn)全面投產(chǎn)，9月實(shí)現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)，2019年實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值9.2億元。

南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)研發(fā)基地項(xiàng)目總投資約10億元，總建筑面積約14萬(wàn)平方米，該項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)200腔體MOCVD設(shè)備的生產(chǎn)能力。

據(jù)了解，中微半導(dǎo)體設(shè)備公司將在南昌大規(guī)模制造具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)MOCVD設(shè)備，打造成為全球最重要、規(guī)模最大的高端MOCVD裝備制造基地，推進(jìn)在南昌開(kāi)展MOCVD相關(guān)的基礎(chǔ)科學(xué)研究和第三代半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，逐步將南昌中微打造成世界級(jí)MOCVD研發(fā)、制造及創(chuàng)新中心；積極促進(jìn)中微公司生產(chǎn)基地及上下游供應(yīng)鏈企業(yè)落戶南昌，形成半導(dǎo)體高端設(shè)備制造的產(chǎn)業(yè)集群。

據(jù)南昌高新區(qū)報(bào)道，受新冠肺炎疫情影響，今年以來(lái)，市場(chǎng)對(duì)深紫外LED等具有殺毒功效產(chǎn)品的需求猛增，深紫外LED應(yīng)用空間廣闊。南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司抓住機(jī)遇，積極投入研發(fā)力量，研制出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高溫MOCVD設(shè)備Prismo HiT3，該設(shè)備是生產(chǎn)深紫外LED的關(guān)鍵設(shè)備。今年6月，首批HiT3機(jī)臺(tái)已從南昌發(fā)給客戶。

中微半導(dǎo)體的落戶，為南昌高新區(qū)打造了從MO源、襯底材料、外延、芯片、封裝、終端應(yīng)用及MOCVD核心關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備等自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的LED完整產(chǎn)業(yè)鏈，成為全國(guó)唯一擁有LED全產(chǎn)業(yè)鏈原創(chuàng)技術(shù)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的開(kāi)發(fā)區(qū)。