綠能產(chǎn)業(yè)新動(dòng)力，LED 制程設(shè)備自主化

　　氣候變遷與永續(xù)發(fā)展已成為國(guó)際關(guān)注議題，先進(jìn)地區(qū)皆積極采用綠色產(chǎn)品，以期為經(jīng)濟(jì)帶來(lái)永續(xù)發(fā)展的新風(fēng)貌。在這股綠色風(fēng)潮席卷之下，為協(xié)助臺(tái)灣產(chǎn)業(yè)爭(zhēng)取國(guó)際節(jié)能商機(jī)，由國(guó)家實(shí)驗(yàn)研究院儀器科技研究中心(簡(jiǎn)稱(chēng)儀科中心)“光學(xué)系統(tǒng)整合研發(fā)聯(lián)盟”主導(dǎo)，結(jié)合宇杰真空科技公司以及明志科技大學(xué)陳勝吉教授產(chǎn)學(xué)研三方能量，開(kāi)發(fā)將氮化鎵薄膜成長(zhǎng)于矽基板之“二硼化鋯(ZrB2)緩沖層制程技術(shù)與設(shè)備”，可降低 LED 制程成本達(dá) 30%，并延長(zhǎng) LED 使用壽命 25%，可有效提升臺(tái)灣綠能產(chǎn)業(yè)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

　　LED 光源擁有省電、體積小及壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，隨著照明應(yīng)用面的擴(kuò)大，已沖上綠色趨勢(shì)的浪頭。根據(jù)研究機(jī)構(gòu)統(tǒng)計(jì)，目前臺(tái)灣 LED 照明產(chǎn)業(yè)已位居全球領(lǐng)先地位，然而 LED 技術(shù)日新月異，且競(jìng)爭(zhēng)者眾，韓國(guó)與中國(guó)大陸更以政策支持，展現(xiàn)強(qiáng)烈的企圖心，可預(yù)期未來(lái)全球 LED 照明產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)將更為激烈。面對(duì)國(guó)際強(qiáng)敵環(huán)伺，臺(tái)灣 LED 產(chǎn)業(yè)需持續(xù)提升技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，方能保持優(yōu)勢(shì)。

　　目前 LED 在照明市場(chǎng)中仍存在高單價(jià)、高成本限制，且散熱處理一直是需要進(jìn)一步克服的關(guān)鍵技術(shù)。傳統(tǒng) LED 主要是以氮化鎵磊晶成長(zhǎng)于藍(lán)寶石晶圓(Sapphire，Al2O3)或碳化矽(SiC)基板上，儀科中心透過(guò)光學(xué)系統(tǒng)整合研發(fā)聯(lián)盟，成功媒合明志科大隊(duì)與宇杰真空，三方合作執(zhí)行科技部“應(yīng)用于氮化鎵薄膜沉積于矽基板之二硼化鋯緩沖層薄膜制程技術(shù)開(kāi)發(fā)”產(chǎn)學(xué)合作計(jì)劃，發(fā)展讓氮化鎵薄膜成長(zhǎng)于矽基板上的二硼化鋯緩沖層的制程技術(shù)。此技術(shù)可讓氮化鎵沉積于半導(dǎo)體業(yè)已大量使用的矽晶圓基板上，不但可降低成本，且可提高導(dǎo)熱速率，提升散熱效率，因此極具商業(yè)應(yīng)用價(jià)值。

　　本產(chǎn)學(xué)研究的運(yùn)作模式，是由儀科中心以“脈沖直流磁控濺鍍?cè)O(shè)備”鍍制二硼化鋯薄膜于矽基板，開(kāi)發(fā)緩沖層;明志科大團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)薄膜材料結(jié)構(gòu)與晶相分析;宇杰真空為一真空設(shè)備系統(tǒng)整合制造及真空元件開(kāi)發(fā)制造之設(shè)備公司，負(fù)責(zé)將研發(fā)成果進(jìn)行商業(yè)機(jī)臺(tái)測(cè)試與驗(yàn)證，并進(jìn)行相關(guān)設(shè)備整合研發(fā)，建立臺(tái)灣真空鍍膜設(shè)備自主研發(fā)能力技術(shù)。

　　根據(jù)全球綠能產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，LED 產(chǎn)業(yè)未來(lái)五年將會(huì)快速成長(zhǎng)，因此積極發(fā)展前瞻性產(chǎn)業(yè)技術(shù)，搶先突破目前產(chǎn)業(yè)技術(shù)瓶頸為各國(guó)目標(biāo)。儀科中心、明志科大及宇杰真空的合作，除可強(qiáng)化臺(tái)灣在 LED 產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，確保全球領(lǐng)先地位，并可提升臺(tái)灣半導(dǎo)體制程設(shè)備廠(chǎng)商的技術(shù)水準(zhǔn)，引領(lǐng)臺(tái)灣產(chǎn)業(yè)邁向高值化應(yīng)用發(fā)展。