國內(nèi)碳化硅4英寸晶片已實(shí)現(xiàn)大批量產(chǎn)

據(jù)中央紀(jì)委國家監(jiān)委網(wǎng)站指出，目前中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地已經(jīng)實(shí)現(xiàn)4英寸晶片的大批量產(chǎn)，6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底也已經(jīng)開始工程化驗(yàn)證，為客戶提供小批量的產(chǎn)品試用，預(yù)計(jì)年底達(dá)到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用與國際水平相當(dāng)。

今年3月，中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地在山西轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)正式投產(chǎn)，第一批設(shè)備正式啟動?；匾黄陧?xiàng)目可容納600臺碳化硅單晶生長爐，項(xiàng)目建成后將具備年產(chǎn)10萬片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產(chǎn)能力，是目前國內(nèi)最大的碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地。這一基地的啟動，將徹底打破國外對我國碳化硅封鎖的局面，實(shí)現(xiàn)碳化硅的完全自主供應(yīng)。

目前國際上碳化硅晶片的合格率最高是70%-80%，而原來國內(nèi)實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)的碳化硅晶片的合格率僅有30%。但在碳化硅產(chǎn)業(yè)基地，這個(gè)合格率可以達(dá)到65%。

中電科總經(jīng)理李斌介紹，現(xiàn)在我們在實(shí)現(xiàn)迅速研發(fā)的同時(shí)也進(jìn)一步開展量產(chǎn)，三年內(nèi)整個(gè)項(xiàng)目要達(dá)到18萬片每年的產(chǎn)能。另外，我們目前在進(jìn)行8英寸晶片的研究，希望三年之后，我們能有8英寸的樣片出來。因?yàn)榫钦麄€(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的上游，要走到器件研究的前面。