國內(nèi)碳化硅4英寸晶片已實現(xiàn)大批量產(chǎn)

據(jù)中央紀委國家監(jiān)委網(wǎng)站指出，目前中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地已經(jīng)實現(xiàn)4英寸晶片的大批量產(chǎn)，6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底也已經(jīng)開始工程化驗證，為客戶提供小批量的產(chǎn)品試用，預計年底達到產(chǎn)業(yè)化應用與國際水平相當。

今年3月，中國電科（山西）碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地在山西轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)正式投產(chǎn)，第一批設(shè)備正式啟動?；匾黄陧椖靠扇菁{600臺碳化硅單晶生長爐，項目建成后將具備年產(chǎn)10萬片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產(chǎn)能力，是目前國內(nèi)最大的碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地。這一基地的啟動，將徹底打破國外對我國碳化硅封鎖的局面，實現(xiàn)碳化硅的完全自主供應。

目前國際上碳化硅晶片的合格率最高是70%-80%，而原來國內(nèi)實驗室生產(chǎn)的碳化硅晶片的合格率僅有30%。但在碳化硅產(chǎn)業(yè)基地，這個合格率可以達到65%。

中電科總經(jīng)理李斌介紹，現(xiàn)在我們在實現(xiàn)迅速研發(fā)的同時也進一步開展量產(chǎn)，三年內(nèi)整個項目要達到18萬片每年的產(chǎn)能。另外，我們目前在進行8英寸晶片的研究，希望三年之后，我們能有8英寸的樣片出來。因為晶片是整個碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的上游，要走到器件研究的前面。