據(jù)了解,隨著紫外LED和Mini/Micro LED等新興產(chǎn)業(yè)如火如荼地發(fā)展,近兩年來,國(guó)內(nèi)外相關(guān)大企紛紛加購(gòu)重要的MOCVD設(shè)備,很大程度推動(dòng)了MOCVD設(shè)備的發(fā)展并刺激了市場(chǎng)需求。
4月16日晚間,MOCVD設(shè)備制造商中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“中微公司”)公布了亮眼的2019年成績(jī)單。報(bào)告期內(nèi),該公司已開發(fā)出用于深紫外LED生長(zhǎng)的高溫MOCVD設(shè)備,并且正在開發(fā)用于Mini/Micro LED的新型MOCVD設(shè)備。
中微公司主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,主要為集成電路、LED芯片、MEMS等半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造企業(yè)提供刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備及其他設(shè)備。其中,MOCVD設(shè)備主要應(yīng)用于藍(lán)綠光及紫外LED外延片和功率器件的生產(chǎn),目前已在行業(yè)領(lǐng)先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)。
報(bào)告期內(nèi),中微公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)收19.47億元,同比增長(zhǎng)18.77%;實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)1.89億元,同比增長(zhǎng)107.51%。
值得注意的是,中微公司去年完成開發(fā)適用于深紫外LED生長(zhǎng)的高溫MOCVD設(shè)備,可承載18片2寸外延片,主要應(yīng)用于深紫外LED、紫外殺菌、工業(yè)水凈化等領(lǐng)域。
中微公司指出,MOCVD設(shè)備采購(gòu)金額一般占LED生產(chǎn)線總投入的一半以上,是LED外延片制造中最重要的設(shè)備。目前MOCVD設(shè)備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導(dǎo)體材料外延生長(zhǎng),其中氮化鎵基LED MOCVD主要用于生產(chǎn)氮化鎵基LED的外延片。
除用于制造通用照明和背光顯示的藍(lán)光LED,MOCVD設(shè)備還可制造應(yīng)用于高端顯示的Mini LED和Micro LED、用于殺菌消毒和空氣凈化的紫外LED、應(yīng)用于電力電子的功率器件,隨著這些新興領(lǐng)域的應(yīng)用拓展及逐步推廣,氮化鎵基MOCVD設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模有望進(jìn)一步擴(kuò)大。
報(bào)告顯示,中微公司的MOCVD設(shè)備已在全球氮化鎵基LED設(shè)備市場(chǎng)中占據(jù)領(lǐng)先地位。其中,用于制造深紫外光LED的MOCVD設(shè)備已在行業(yè)領(lǐng)先客戶端驗(yàn)證成功。同時(shí),用于Mini LED生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備的研發(fā)工作正在有序進(jìn)行中,并計(jì)劃推動(dòng)相關(guān)驗(yàn)證。此外,制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設(shè)備也在開發(fā)中。