相較于不久前各國際品牌在CES上推出各種爭奇斗艷的新產(chǎn)品,參與日本電子展NEPCON的公司,則多關(guān)注于技術(shù)面的交流跟革新,這兩種截然不同的展會風(fēng)格正好反映在Micro LED技術(shù)的演示上。
雖然在今年的NEPCON Japan上,較少看到廠商主打Micro LED或Mini LED技術(shù)及產(chǎn)品,但LEDinside仍觀察到幾家日本的設(shè)備公司介紹自家的巨量轉(zhuǎn)移及檢測技術(shù),針對已在商轉(zhuǎn)門口就定位的Micro LED顯示技術(shù),提供量產(chǎn)方案?! ?/p>
日本信越展出Micro LED的轉(zhuǎn)移方案,先將晶圓片放上信越開發(fā)的暫存基板,并利用雷射剝離制程Laser Lift-off將Micro LED芯片打到暫存基板上,移除藍(lán)寶石基板,后續(xù)再透過清洗,去除芯片上的鎵Ga,接著以信越的轉(zhuǎn)印方案將Micro LED芯片轉(zhuǎn)移到顯示器背板上。該方案適用于覆晶技術(shù)flip-chip,*新一代的轉(zhuǎn)印可處理4吋晶圓。
之前推出Micro LED轉(zhuǎn)移以及檢測修復(fù)方案的Toray今年也沒缺席。透過攝影檢查LED芯片上的缺陷,并用雷射打掉不合格的芯片,再以其設(shè)備精準(zhǔn)定位RGBLED進(jìn)行轉(zhuǎn)移,最后再次檢驗并補(bǔ)齊缺陷,提升良率。
TDK本次也低調(diào)在攤位展出Micro LED制程解決方案的說明海報。針對Micro LED的壞點移除、巨量轉(zhuǎn)移、芯片檢測修復(fù)以及背板接合都有應(yīng)對的技術(shù)設(shè)備。可以大量轉(zhuǎn)移最小到10µm的Micro LED芯片,精準(zhǔn)度則來到±1.9µm以下。據(jù)TDK表示,其解決方案已獲知名中國及韓國廠商采用。