山西長(zhǎng)治首條大功率紫外LED芯片量產(chǎn)

典型的老工業(yè)城市和資源型城市山西長(zhǎng)治迎來新增長(zhǎng)點(diǎn)。今年全球首條大功率紫外LED芯片量產(chǎn)生產(chǎn)線在長(zhǎng)治正式投產(chǎn)，配套建設(shè)的中科潞安半導(dǎo)體技術(shù)研究院同步落成。深紫外LED產(chǎn)業(yè)在未來的五到十年內(nèi)，將成為一個(gè)新的萬億產(chǎn)業(yè)。

據(jù)悉，半導(dǎo)體照明是節(jié)能環(huán)保產(chǎn)業(yè)的重要組成。紫外LED及其應(yīng)用，是繼照明之后，LED產(chǎn)業(yè)未來重要發(fā)展方向之一。更短波長(zhǎng)的紫外LED，因其具有安全、環(huán)保、小巧、高效、低耗等突出優(yōu)勢(shì)，在聚合物固化、殺菌消毒、生物探測(cè)、非視距通信、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、農(nóng)業(yè)及醫(yī)療等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。特別是，隨著限定汞使用和排放的國(guó)際《水俁公約》正式生效，為紫外LED產(chǎn)業(yè)提供了重要發(fā)展契機(jī)。

中科潞安深紫外LED項(xiàng)目，基于中科院半導(dǎo)體所紫外研究團(tuán)隊(duì)過去十余年在深紫外LED領(lǐng)域的持續(xù)耕耘和積累，從裝備、外延到芯片器件，一步一個(gè)腳印。從技術(shù)角度看，深紫外LED產(chǎn)業(yè)化的壁壘首先是對(duì)于重大核心MOCVD設(shè)備的特殊需求。雖然我國(guó)MOCVD裝備的保有量已經(jīng)超過1700臺(tái)，但是這些設(shè)備并不適于用于深紫外LED的研發(fā)生產(chǎn)。對(duì)于深紫外所需的量產(chǎn)型MOCVD裝備，即便是國(guó)際上的巨頭供應(yīng)商也缺少很成熟的解決方案。

2018年4月1日，由山西省長(zhǎng)治市政府、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、山西潞安礦業(yè)（集團(tuán)）有限責(zé)任公司三方牽手，共建“中科潞安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院”。分別建設(shè)紫外LED芯片生產(chǎn)線、以及中科潞安半導(dǎo)體技術(shù)研究院，項(xiàng)目總投資約20億元，其中一期投資11億元，長(zhǎng)治市政府配套1.5億元資金扶持。

項(xiàng)目產(chǎn)線設(shè)備于2019年5月28日正式投產(chǎn)，成為全球首條大功率紫外LED芯片量產(chǎn)生產(chǎn)線，在國(guó)內(nèi)外產(chǎn)生了重大影響力。配套建設(shè)的中科潞安半導(dǎo)體技術(shù)研究院同步落成，將實(shí)現(xiàn)5大服務(wù)功能，包括前沿半導(dǎo)體技術(shù)、高端應(yīng)用產(chǎn)品開發(fā)與設(shè)計(jì)、對(duì)外檢驗(yàn)檢測(cè)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制定以及成果轉(zhuǎn)化孵化。