項(xiàng)目名稱： 達(dá)波機(jī)電真空等離子清洗機(jī)PT-15S
申報(bào)單位： 深圳三和波達(dá)機(jī)電科技有限公司
綜合介紹或申報(bào)理由：
離子清洗機(jī)廠家-深圳三和波達(dá)機(jī)電科技有限公司 達(dá)波機(jī)電真空等離子清洗機(jī)PT-15S
主要技術(shù)參數(shù)：
型號：PT-15S
電源： AC220V
工作電流： 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-600W
射頻頻率： 40KHZ或13.56MHz選裝 （偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
*特性阻抗： 50歐姆，自動(dòng)匹配
真空度： 30Pa—100Pa
氣體流量： 10—100ml/min(可調(diào))
過程控制： MCU自動(dòng)與手動(dòng)方式
清洗時(shí)間： 1-99999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-100%可調(diào)內(nèi)腔尺寸 200mm×150mm×400mm
外形尺寸： PT-15S型_650*520*500
重量： 45Kg
真空泵： 2XZ-6
真空室溫度： 小于65°C
冷卻方式： 強(qiáng)制風(fēng)
技術(shù)及工藝創(chuàng)新要點(diǎn)：
1.金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果：
1.1灰化表面有機(jī)層
－表面會(huì)受到化學(xué)轟擊（圖一）
－在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)
－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出
－紫外輻射破壞污染物
因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。 1.2氧化物去除
金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（圖二）
這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。
1.3焊接
通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除，否則會(huì)帶來腐蝕等問題。
1.4鍵合
好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。
2、等離子刻蝕
在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣相（例如在使用氟氣對硅刻蝕時(shí)，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。 （圖三）
等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時(shí)得到分布分析情況?？涛g方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。
3、刻蝕和灰化
PTFE刻蝕
PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強(qiáng)粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時(shí)溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境，還能達(dá)到更好效果。（圖四）
實(shí)際運(yùn)用案例和用戶評價(jià)意見：
電子行業(yè)
Led支架、晶圓、IC等的清潔和焊接性增強(qiáng)處理；電子元器件的綁定性增強(qiáng)，PCB和陶瓷基板的激活處理等。
一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線的處理效率；
二、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
四、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；
六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生；
八、等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的
申報(bào)單位介紹：
深圳三和波達(dá)機(jī)電科技有限公司是一家研制、開發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)，大型工業(yè)自動(dòng)化的大型中外合作企業(yè).自成立以來，三和波達(dá)公司本著“以人為本，同謀發(fā)展”的用人理念，吸引了大批年輕、專業(yè)、奮發(fā)的行業(yè)精英加盟，形成激情、成熟、活力、創(chuàng)新的企業(yè)團(tuán)隊(duì)！憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力和人力資源，使公司在行業(yè)中已擁有了很高的知名度。我們將一如既往，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、合理的價(jià)格、準(zhǔn)時(shí)的交貨、及時(shí)周到的售后服務(wù)，熱情誠實(shí)地位新老客戶服務(wù)。
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