近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“中微”)宣布，中國(guó)福建省高級(jí)人民法院同意了中微針對(duì)維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“Veeco上?！?的禁令申請(qǐng)，該禁令禁止Veeco上海進(jìn)口、制造、向任何第三方銷售或許諾銷售侵犯中微第CN 202492576號(hào)專利的任何化學(xué)氣相沉積裝置和用于該等裝置的基片托盤。該禁令涵蓋TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4機(jī)型的MOCVD設(shè)備，以及在該等MOCVD設(shè)備中使用的基片托盤。中微認(rèn)為Veeco EPIK 868機(jī)型MOCVD設(shè)備的旋轉(zhuǎn)軸和基片托盤鎖定同步裝置也使用了中微涉案專利技術(shù)，因此該裁定也涵蓋了Veeco的EPIK 868機(jī)型及在該設(shè)備中使用的基片托盤。
該禁令立即生效執(zhí)行，不可上訴。這一嚴(yán)格的禁令充分表明，Veeco上海公然侵犯了中微的知識(shí)產(chǎn)權(quán)， Veeco上海不尊重中微的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
今年7月，中微向福建高院正式起訴 “Veeco上?！?，指控其TurboDisk EPIK 700型號(hào)的MOCVD設(shè)備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國(guó)專利，要求其停止侵權(quán)并主張上億元侵權(quán)損害賠償。
在中微起訴后，Veeco上海對(duì)該涉案的中微專利向?qū)＠麖?fù)審委提起無(wú)效宣告請(qǐng)求;與此同時(shí)，還有一位自然人也對(duì)該涉案專利提起無(wú)效宣告請(qǐng)求。針對(duì)涉案專利的兩個(gè)無(wú)效宣告請(qǐng)求，專利復(fù)審委先后分別開庭審理，雙方代理人進(jìn)行充分答辯，專利復(fù)審委于今日對(duì)兩個(gè)無(wú)效宣告案分別作出了審查決定，均確定認(rèn)中微專利為有效專利。
中微為這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)投入了大量的研發(fā)費(fèi)用和知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)。中微率先開發(fā)了這項(xiàng)技術(shù)、布局了一系列相關(guān)專利申請(qǐng)保護(hù)其創(chuàng)新性并在MOCVD設(shè)備上應(yīng)用了這項(xiàng)技術(shù)，中微MOCVD設(shè)備已在國(guó)內(nèi)眾多LED生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)。Veeco美國(guó)公司之后跟隨中微的步伐在其MOCVD設(shè)備中采用相同的鎖定同步技術(shù)以提高設(shè)備性能。Veeco美國(guó)公司針對(duì)中微該已獲專利授權(quán)的鎖定同步技術(shù)也提交了相近的專利申請(qǐng)，并使用于其產(chǎn)品上，由此侵犯了中微的專利權(quán)。
不過(guò)值得注意的是，Veeco 也沒(méi)有坐以待斃，就在11月2日，Veeco 美國(guó)宣布，美國(guó)紐約東區(qū)地方法院同意了Veeco公司針對(duì)SGL Carbon，LLC(SGL)的一項(xiàng)初步禁令請(qǐng)求，該公司是中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應(yīng)商。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)內(nèi)前三大 LED 芯片廠商今年采購(gòu)的機(jī)臺(tái)里，Veeco 和中微半導(dǎo)體各占一半。業(yè)內(nèi)人士評(píng)論稱，此次禁令可能會(huì)讓中微損失不少。
美國(guó)當(dāng)?shù)貢r(shí)間2017年12月8日，中微向美國(guó)專利商標(biāo)局(USPTO)專利審判和上訴委員會(huì)(PTAB)遞交無(wú)效Veeco美國(guó)專利(US 6，726，769)的請(qǐng)求。該項(xiàng)關(guān)于可分離基片托盤技術(shù)的專利申請(qǐng)于2001年，此前被Veeco 美國(guó)公司用于在美國(guó)起訴中微的基片托盤供應(yīng)商專利侵權(quán)。中微深信，Veeco美國(guó)的涉案專利的技術(shù)早在60年代起就被大量前置專利明確地公開，因此該專利不符合專利法要求，應(yīng)屬無(wú)效。中微除了在美國(guó)對(duì)該涉案專利提起專利無(wú)效請(qǐng)求，還對(duì)其中國(guó)同族專利和韓國(guó)同族專利均提交了專利無(wú)效請(qǐng)求。
針對(duì)Veeco美國(guó)起訴中微供應(yīng)商的的另一個(gè)涉案美國(guó)專利(US 6，506，252)，中微正在準(zhǔn)備無(wú)效宣告材料，將很快向美國(guó)專利審判和上訴委員會(huì)提起專利無(wú)效請(qǐng)求。
福建高院判決VeecoEPIK700機(jī)型在國(guó)內(nèi)禁售，這是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的勝利。正如我們之前評(píng)論，中微等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)崛起的趨勢(shì)不可避免，Veeco等海外企業(yè)僅靠專利戰(zhàn)無(wú)法擊敗中微。中微以彼之道還施彼身，顯示國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的創(chuàng)新與技術(shù)能力已經(jīng)不可同日而語(yǔ)。不過(guò)需要注意的是，中微一系列動(dòng)作的訴求也是在與Veeco的談判中多掌握籌碼，對(duì)于你來(lái)我往的專利戰(zhàn)，最后的結(jié)果還是和解。目前來(lái)看，和解的時(shí)間點(diǎn)正在接近。
在上游設(shè)備商糾紛愈演愈烈的情況下，LED芯片行業(yè)產(chǎn)能面臨考驗(yàn)。對(duì)于LED芯片行業(yè)而言，中微與Veeco的糾紛使得各家廠商在新購(gòu)機(jī)臺(tái)的決策上陷入進(jìn)退兩難的境地，擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃可能陷入停頓，如果短期無(wú)法和解，行業(yè)2018年的大部分?jǐn)U產(chǎn)計(jì)劃無(wú)法如期進(jìn)行;同時(shí)目前的判決對(duì)中微和Veeco各自相關(guān)機(jī)型存量產(chǎn)能皆有影響，行業(yè)產(chǎn)能大概率陷入供給不足的狀態(tài)!
就LED芯片相關(guān)公司而言，澳洋順昌受到糾紛事件影響最小。對(duì)于澳洋順昌，公司目前存量機(jī)型以Axitron為主，占比為行業(yè)最高，在產(chǎn)有效產(chǎn)能最大，對(duì)機(jī)臺(tái)的操控水平也最高。對(duì)于新增產(chǎn)能，在糾紛解決無(wú)明確時(shí)間表的情況下，公司可選擇Axitron與中晟(兩者技術(shù)路線與Veeco均有較大不同)，騰挪余地更大;而其他廠商因?yàn)榍皫啄暌呀?jīng)轉(zhuǎn)向Veeco，Axitron與中晟機(jī)臺(tái)對(duì)其均具有一定操作門檻，即使是唯二選擇也都不是好的選擇?？偠灾难笥行Мa(chǎn)能及擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃受影響最小。
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