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              Veeco迎雙喜：獲針對(duì)SGL初步禁令，與ALLOS達(dá)成合作
              
                
              
                    2017/11/3 11:14:53
                    
                        
                        作者： 來源：LEDinside編譯
                        
                        
                    
                    
                
              
            
              
            
            
              摘要：昨(2)日，有機(jī)金屬化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)(MOCVD)設(shè)備大廠美國維易科(Veeco)宣布，美國紐約東區(qū)地方法院同意了Veeco公司針對(duì)SGL Carbon，LLC(SGL)的一項(xiàng)初步禁令請(qǐng)求，該公司是中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應(yīng)商。
              
            
            

            
              
                
                
              　　昨(2)日，有機(jī)金屬化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)(MOCVD)設(shè)備大廠美國維易科(Veeco)宣布，美國紐約東區(qū)地方法院同意了Veeco公司針對(duì)SGL 
Carbon，LLC(SGL)的一項(xiàng)初步禁令請(qǐng)求，該公司是中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應(yīng)商。該禁令禁止SGL出售用于采用了Veeco專利技術(shù)的無基座金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)的晶圓承載器，包括專為AMEC 
MOCVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)的晶圓承載器。
              　　Veeco公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官John R. 
Peeler說：“這項(xiàng)裁決肯定了Veeco知識(shí)產(chǎn)權(quán)及其全球?qū)＠M合的實(shí)力。Veeco狠抓知識(shí)產(chǎn)權(quán)工作，并堅(jiān)決維護(hù)其在研發(fā)方面的重大投資，包括其在美國，歐洲和亞洲的專利，特別是在中國?！?/p>
              　　上述裁決立即生效，禁止SGL在未得到Veeco明確授權(quán)的情況下出貨采用了Veeco專利技術(shù)的晶圓承載器。這也意味著禁止SGL提供用于所有AMEC 
MOCVD系統(tǒng)的晶圓承載器。法院還裁定，盡管SGL有相反的論點(diǎn)，Veeco公司有關(guān)“無基座MOCVD反應(yīng)堆使用的Veeco晶圓載體專利受到SGL的侵犯且該專利有效”的聲稱得到認(rèn)同的可能性很大。SGL曾經(jīng)辯稱，其晶圓承載器是基于AMEC的規(guī)格。這項(xiàng)裁決顯示，AMEC不尊重Veeco的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。在專利案件中，初步禁令是很罕見的，因?yàn)樵谂銓張F(tuán)對(duì)專利侵權(quán)作出判決之前頒布禁售令有非常嚴(yán)格的法律要求。因此，這一裁決顯示了SGL和AMEC侵犯Veeco知識(shí)產(chǎn)權(quán)的明確性質(zhì)。
              　　Veeco于2017年4月12日在紐約東區(qū)的聯(lián)邦法院對(duì)SGL Carbon，LLC和SGL Carbon 
SE展開了專利侵權(quán)訴訟。SGL生產(chǎn)用于無基座MOCVD系統(tǒng)的晶圓承載器。除了臨時(shí)禁令之外，Veeco正在尋求永久性禁令以及經(jīng)濟(jì)賠償?shù)取?/p>
              　　此外， Veeco公司11月1日宣布和ALLOS 
Semiconductors(ALLOS)達(dá)成了一項(xiàng)戰(zhàn)略舉措，展示了200mm硅基氮化鎵晶圓用于藍(lán)/綠光micro-LED 
的生產(chǎn)。維易科和ALLOS合作將其專有外延技術(shù)轉(zhuǎn)移到 Propel單晶圓MOCVD系統(tǒng)，從而在現(xiàn)有的硅生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)micro-LED。
              　　“使用Propel反應(yīng)腔，我們就擁有了一項(xiàng)MOCVD技術(shù)，這項(xiàng)技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)高產(chǎn)量的GaN外延，滿足在200毫米硅生產(chǎn)線上生產(chǎn)micro-LED器件的所有要求，” 
ALLOS Semiconductor的首席執(zhí)行官Burkhard Slischka 這樣說。
              　　“不到一個(gè)月時(shí)間我們就已經(jīng)在Propel上對(duì)我們的技術(shù)進(jìn)行了驗(yàn)證，并且獲得了無裂紋、無回熔的晶圓，翹曲度低于30微米，晶體質(zhì)量高，厚度均勻性優(yōu)異，波長(zhǎng)均勻性小于1納米。同Veeco攜手，ALLOS期待著將該技術(shù)在micro-LED產(chǎn)業(yè)中更為推廣。”
              　　Micro-LED顯示技術(shù)由<30x30平方微米的紅、綠和藍(lán)(RGB)無機(jī)LED組成，這些LED被轉(zhuǎn)化為顯示屏背板，以形成亞像素。與有機(jī)LED(OLED)和液晶顯示(LCD)相比，這些高效的LED直接發(fā)射功耗更低，卻可以為移動(dòng)顯示器、電視和可穿戴式計(jì)算機(jī)提供優(yōu)異的亮度和對(duì)比度。Micro-LED 
的制造要求優(yōu)質(zhì)、均勻的外延晶圓，以滿足顯示屏的產(chǎn)量和成本控制的要求。
              　　“和競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的MOCVD平臺(tái)相比， 
Veeco的TurboDisc技術(shù)提供的制程窗口更大，因此Propel能提一流的均勻性同時(shí)還能獲得優(yōu)良的膜品質(zhì)，”維易科高級(jí)副總裁兼MOCVD運(yùn)營總經(jīng)理Peo 
Hansson博士這樣說?！皩eeco領(lǐng)先的MOCVD專業(yè)技術(shù)和 
ALLOS的硅基氮化鎵外延晶片技術(shù)相結(jié)合，使我們客戶能夠開發(fā)出低成本的micro-LED，以便于在新的市場(chǎng)中開拓新的應(yīng)用?！?/p>

              
            
              

            
              
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