“愛上”RPCVD技術？三家前沿企業(yè)已做出積極評估

　　近日，據ACB News《澳華財經在線》報道，澳大利亞BluGlass公司發(fā)布公告，宣布與國內芯片廠商華燦光電簽署合作協(xié)議，未來將共同挖掘RPCVD技術的應用潛力。

　　RPCVD技術，詳細注解為低溫遠程等離子化學氣相沉積，該技術主要利用低溫制造平臺形成的氮化鎵(GaN)、氮化銦鎵(InGaN)等關鍵半導體材料薄膜，因之產生的低溫和靈活可控特性，以為生產工藝提供高效、低成本、性能佳、基地材料適用范圍廣的優(yōu)勢，對于時下LED燈具和電力電子器件等設備生產具有積極意義。

　　公告顯示，根據本次協(xié)議，華燦光電將主要評估RPCVD技術在低溫沉積氮化鎵薄膜工藝和氮化鋁薄膜工藝中的優(yōu)勢，未來，這兩項工藝將分別用于綠色LED和高亮度LED芯片制造。

　　在獲悉該新聞后，小編本能反應這可能是一種基于硅襯底的外延技術，并將同此前獲得國家技術發(fā)明一等獎的硅襯底技術有一個很好的結合，但在詳細了解情況后，實際并不是這樣。

　　“此項RPCVD技術同目前國內市場大力發(fā)展的硅襯底技術，并無太大關聯，僅是一種低溫的氣相沉積技術，目前我們華燦也是作為一項技術儲備，離最終走向應用端還有待時日。”據華燦光電副總裁邊迪斐介紹道。

　　而公告也提及，華燦光電將向BluGlass提供測試RPCVD技術所需要的4英寸單晶硅圓片，并負責后續(xù)組裝工作。此次測試還將用到BluGlass設計的新型RPCVD反應腔，以提升RPCVD技術形成的氮化鋁薄膜的均勻度，預計這種新型反應腔計劃將在未來數月中投入生產。

　　而就在此次BluGlass公司同華燦光電訂立合作協(xié)議前不久，今年3月23日，BluGlass也已宣布同Lumileds進入合作協(xié)議，開發(fā)、生產和銷售為一體的Lumileds led和汽車照明產品，并且兩家公司也將共同探索潛在的使用低溫RPCVD為特定應用程序定義的協(xié)議。

　　此前，BluGlass總裁Giles Bourne在接受采訪時已表示，“RPCVD技術不斷取得商業(yè)化成果，并逐漸獲得業(yè)界的認可。目前已經有三家行業(yè)前沿公司對該技術做出了積極的行業(yè)評估。”

　　目前行業(yè)已經知曉的Lumileds+華燦光電，那么，還有一家呢?與BluGlass公司展開積極合作的是誰?后續(xù)，高工LED也將持續(xù)關注，特別是關于此項技術的進一步突破方面。

　　注：BluGlass為澳大利亞一家綠色科技創(chuàng)新公司，目前在美國、中國、歐洲、日本等多個地區(qū)持有半導體技術的大量專利，致力于促進半導體行業(yè)突破性技術的商業(yè)化。BluGlass希望將RPCVD引進規(guī)模高達數百億美元的全球LED照明市場，為制造商提供可選的補充技術。