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              華燦光電與澳企合作 共探RPCVD技術應用

              2016/4/28 9:42:29 作者: 來源:華強LED網
              摘要:澳大利亞公司BluGlass有限公司宣布,它將與中國領先的LED芯片廠商華燦光電合作,探索氮化鋁(AlN)低溫沉積在高亮度LED上的應用,并探索RPCVD在綠色LED生產上的優(yōu)勢。通過該合作協(xié)議,華燦光電將為BluGlass提供4英寸晶圓產品,并制造用于測試的LED器件。

                澳大利亞公司BluGlass有限公司宣布,它將與中國領先的LED芯片廠商華燦光電合作,探索氮化鋁(AlN)低溫沉積在高亮度LED上的應用,并探索RPCVD在綠色LED生產上的優(yōu)勢。通過該合作協(xié)議,華燦光電將為BluGlass提供4英寸晶圓產品,并制造用于測試的LED器件。

                

                華燦光電探索RPCVD技術用于LED生產

                通過該協(xié)議,BluGlass打算為華燦光電系統(tǒng)演示其具備成本和性能優(yōu)勢的低溫遠程等離子體化學氣相沉積(RPCVD)技術,可用于綠色LED的p-GaN層低溫沉積。該公司還計劃探索在藍寶石襯底上采用氮化鋁(AlN)低溫沉積用于高亮度LED的制造。

                BluGlass 2015年從澳大利亞悉尼麥考瑞大學三族氮化物部門獨立出來之后,研發(fā)了一種在玻璃襯底上使用遠距離等離子低壓化學氣相沉積(RPCVD)氮化鎵(GaN)和氮化鎵銦(InGaN)等材料的低溫工藝。此工藝生產的發(fā)光二級管(LED)和太陽能電池具有節(jié)省成本、吞吐量大和效率高等優(yōu)勢。BluGlass擁有該項技術在美國、中國、歐洲和日本等主要半導體市場的專利權。

                而華燦光電是中國著名的LED芯片制造商,公司致力于研發(fā)、生產、銷售以GaN基藍、綠光系列產品為主的高質量LED外延材料與芯片,擁有國際領先的技術研發(fā)能力和成熟的生產工藝。

                據悉,兩家公司預計發(fā)展需要若干次迭代以演示其性能的能力。華燦將使用BluGlass的新RPCVD腔室設計,以提高PRCVD沉積的均勻性用來制造LED。華燦預計在未來幾個月內委托BluGlass打造RPCVD設備,雙方將攜手合作,改進工藝,促使BluGlass系統(tǒng)能夠以低成本制造高效率高亮度的綠色和白色LED。


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