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              大數(shù)據(jù)優(yōu)化制程參數(shù) 臺工研院讓LED生產(chǎn)變簡單

              2015/11/19 9:49:20 作者: 來源:中國LED網(wǎng)
              摘要:在發(fā)光二極體(LED)繁復的磊晶制程中,氣體組成和流量、壓力、基板溫度和轉(zhuǎn)速等參數(shù)會交互影響,往往需要花很長的時間來設定及調(diào)整磊晶參數(shù),根據(jù)以往經(jīng)驗,做一組參數(shù)需要6到8小時,找出最佳化制程參數(shù)往往耗費一周,而且必須仰賴具多年磊晶制程經(jīng)驗人員判斷參數(shù)設定。

                在發(fā)光二極體(LED)繁復的磊晶制程中,氣體組成和流量、壓力、基板溫度和轉(zhuǎn)速等參數(shù)會交互影響,往往需要花很長的時間來設定及調(diào)整磊晶參數(shù),根據(jù)以往經(jīng)驗,做一組參數(shù)需要6到8小時,找出最佳化制程參數(shù)往往耗費一周,而且必須仰賴具多年磊晶制程經(jīng)驗人員判斷參數(shù)設定,才能得出更好的良率,因此“人”成為良率高低的關(guān)鍵所在。

                如何讓經(jīng)驗判斷成為可供參考的數(shù)據(jù)模擬,臺灣工研院嘗試著將實驗參數(shù)導入巨量數(shù)據(jù)庫,透過相關(guān)參數(shù)的優(yōu)化,節(jié)省制程開發(fā)驗證的時間,開發(fā)出“磊晶制程參數(shù)優(yōu)化系統(tǒng)”,透過知識系統(tǒng)的建立,也能縮短相關(guān)人才的養(yǎng)成時間。

                

                工研院研發(fā)的磊晶制程參數(shù)優(yōu)化系統(tǒng),是以有機金屬化學氣相沉積設備(MOCVD)的氣流、熱流、化學反應機制與氣體噴灑頭關(guān)鍵模組虛實整合技術(shù),突破傳統(tǒng)磊晶廠找出最佳化制程參數(shù)方式。此項磊晶制程數(shù)碼化制造技術(shù),也就是導入ECOS(Epitaxy Optimum Coupling System)這個虛實整合系統(tǒng)(Cyber-Physical System,CPS)。在這個系統(tǒng)中,“實體”部份是指結(jié)合機臺與制程的氣體噴灑模組;“虛擬”部份則是指制程參數(shù)數(shù)據(jù)庫。透過工研院進行的測試,研發(fā)團隊已能掌握氣體噴灑模組性能,以及制程參數(shù)數(shù)據(jù)庫的操作方式及參數(shù)調(diào)控準確度。

                透過此一開發(fā)成果,不僅制程準確性獲得提高,磊晶參數(shù)決定時間從原來一周縮短為不到2小時,透過將經(jīng)驗數(shù)值化,也能將人員異動對制程所造成的影響降至最低。


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